中科院制造出世界面积最大的中阶梯光栅

    本报讯（中国青年报·中青在线记者 邱晨辉）记者从中国科学院获悉，11月11日，由该院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”（以下称光栅项目）顺利通过验收。这标志着我国大面积高精度光栅制造的相关技术已达到国际水平，结束了我国在高精度大尺寸光栅制造领域受制于人的局面。

    衍射光栅，是一种精密光学元件，在信息存储、新能源等诸多领域中具有重要应用。光栅项目负责人、中科院长春光机所研究员唐玉国说，光栅的面积大可获得高集光率和分辨本领，光栅的精度高可获得更好的信噪比，同时将光栅“做大”和“做精”则属于世界性难题。随着科技的发展，大面积高精度的中阶梯光栅，已经成为制约我国相关领域技术发展的“短板”。

    2008年，在中科院和财政部共同支持下，长春光机所开始了光栅项目工作，目标就是研制一台刻划面积属世界之最、技术水平达国际领先的大型高精度衍射光栅刻划机。

    光栅刻划机是制作光栅的母机，因部件的加工装调精度之难，运行保障环境要求之高，被誉为“精密机械之王”。唐玉国说，该项目研制的光栅刻划机，几乎所有关键部件都冲击世界“极限”水平。研制期间，项目组突破了一系列核心高精度零件的加工制造技术。

    按照唐玉国的说法，经过8年艰苦攻关，他所在的项目组共攻克18项关键技术，取得9项创新性成果，研制出一套大型高精度光栅刻划系统，并成功研制出面积达400mm×500mm的世界上面积最大的中阶梯光栅。当天进行项目验收的评审专家认为光栅刻划系统和光栅都达到了项目实施方案的技术指标，一致同意项目通过验收。

来源：中国青年报

2016年11月15日 11 版

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